特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體,隨著國防工業(yè)、科學研究、自動化技術、精密檢測(特別是微電子技術)的發(fā)展,特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力,廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜、醫(yī)藥等新興行業(yè)。
特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學成分可分為:硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積(CVD)用氣體、載運稀釋氣體七類。同時,以上分類存在交叉,例如四氯化硅(SiCl4)既屬于硅系氣體,又屬于外延氣體,同時在化學氣相沉積(CVD)中也存在應用。
特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)療氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業(yè)的加工制造過程,主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等,是下游行業(yè)關鍵性化工基礎材料,被譽為電子產業(yè)的“糧食”和“源”,現(xiàn)有單元特種氣體260余種,可配制成25000多種混合氣體。
特種氣體的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測??梢愿鶕?jù)客戶的不同需求和產品的不同特性,采取不同的工序進行組合。
電子特種氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場需求半導體材料,電子氣體2016年的國內市場需求為48.02億,占比14%。電子特種氣體中高端產品被國外壟斷,該領域主要生產廠家有美國氣體化工、美國普萊克斯、日本昭和電工、德國林德集團、法國液化空氣、日本酸素,合計市場占有率達85%。據(jù)全球半導體協(xié)會統(tǒng)計,目前常用的電子氣體純氣有60多種,混合氣80多種。
據(jù)業(yè)內不完全數(shù)據(jù)統(tǒng)計,從2012年至2016年,國內電子氣體企業(yè)實際生產銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3.8%增加至25.0%,雖然國內電子氣體占比有了大幅的提升,但其生產總量仍然無法滿足國內市場需求,電子特種氣體品種及產量亟待提升。 在整個行業(yè)供應鏈中,氣體原料、裝置、運輸和客戶十分重要,是氣體供應商的利潤來源。
如今氣體產品種類繁多,客戶對氣體產品存在多元化需求,往往在某一終端產品的制造中所需氣體種類達幾十種以上,出于成本控制、倉儲管理、供應穩(wěn)定等多方考量,客戶更愿意在一家氣體公司采購,因此希望氣體公司覆蓋更多的氣體種類;此外,下游行業(yè)的產品精細化程度不斷提高,客戶所需的產品定制化特點明顯,并希望供應商提供氣體運輸以及裝置處理、檢修、潔凈、維護等服務,故而對氣體公司提出了技術性、專業(yè)性、綜合性的更高要求。
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